材料表面元素成分分析XPS案例

(1) 元素定性分析

各种元素都有它的特征的电子结合能，在能谱图中就出现特征谱线，可以根据这些谱线在能谱图中的位置来鉴定周期表中除H和He以外的所有元素。通过对样品进行全扫描，在一次测定中就可以检出全部或大部分元素。

(2) 元素定量分折

X射线光电子能谱定量分析的依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原于的含量或相对浓度。在实际分析中，采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析，其分析精度达1％～2％。

(3) 固体表面分析

固体表面是指Zui外层的1～10个原子层，其厚度大概是(0.1~1)nm。人们早已认识到在固体表面存在有一个与团体内部的组成和性质不同的相。

表面研究包括分析表面的元素组成和化学组成，原子价态，表面能态分布。测定表面原子的电子云分布和能级结构等。X射线光电子能谱是Zui常用的工具。在表面吸附、催化、金属的氧化和腐蚀、半导体、电极钝化、薄膜材料等方面都有应用。

(4) 化合物结构鉴定

X射线光电子能谱法对于内壳层电子结合能化学位移的jingque测量，能提供化学键和电荷分布方面的信息。

根据客户要求，对手机屏（如图所示）位置1和2进行表面成分分析。

测试环境：温度22.1℃；相对湿度44%RH。

测试项目：表面成分定性分析表面成分半定量分析

参考标准：GB/T19500-2004X射线光电子能谱分析方法通则；

测试条件：

a、X射线源：单色化A1Kα(1486.6eV)射线；

b、X射线参数值：200μm，50W,15kV;

c、分析类型：Point 200μm;

测试结果：

图1  位置①的XPS的谱图

图2  位置② 的XPS的谱图

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