全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机应用行业有：
通信器件、LED封装、电力电子器件、半导体制冷器件、大功率集成电路、新能源汽车等。
工艺的不同：
机械强度和硬度增加，相应的导热率比氧化陶瓷基板更高。氮化陶瓷基板生产制作难度增加，加工工艺也有所不同。
污染源：
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机用超纯水（超声波清洗机）清洗不损伤氮化铝陶瓷基板表面，还能有效清洗掉因激光产生的黑边。
能做到清洗产品表面污垢、并干燥。并且，设备能力可以达到节拍 3～8分钟(可调)清洗一篮。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机配置：
在清洗部分与慢拉及热风烘干部份分别独立电器控制。采用水溶剂洗涤、纯水漂洗、慢拉脱水热风烘干等工艺，为环保型清洗机。
设备内槽尺寸：L280×W390×H300（mm）。
材质：进口SUS316板。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机槽体结构：
1、每槽设四面溢流口，溢水槽宽35mm，各槽均为独立循环槽，由循环泵将洗剂由储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即子母槽循环。
2、设置独立循环过滤系统。
3、全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机各槽底部设排液阀且互相串联至总排管。
4、槽内设温度感应器，温控范围：RT-100。
5、槽外设置抛动。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机慢拉槽体结构：
槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入。槽外贴保温棉厚10mm。
槽体设“OMRON”数显温控系统，检测槽内工作温度，温控范围，常温～120.
槽体上部设抽风小孔，将溢出水蒸汽抽走，防止水汽附着于提出的产品上。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗机热风烘干槽配置：
材质：采用进口SUS304，厚2mm不锈钢板，外包不锈钢沙胶板，中间填岩棉。
结构：每个烘干槽配置一套气缸，气缸带动产品一起运动，形成密封盖。