全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备慢拉槽体结构：
槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入。槽外贴保温棉厚10mm。
槽体设“OMRON”数显温控系统，检测槽内工作温度，温控范围，常温～120.
槽体上部设抽风小孔，将溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附着于提出的产品上。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备热风烘干槽配置：
材质：采用进口SUS304，厚2mm不锈钢板，外包不锈钢沙胶板，中间填岩棉。
结构：每个烘干槽配置一套气缸，气缸带动产品一起运动，形成密封盖。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备加热系统：外置式不锈钢加热。内置不锈钢加热管，功率：12KW；配OMRON数显式温控系统，监控箱内热风温度。温控范围：常温～120.
FFU压风系统机构：在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。
FFU压风系统功能：因慢拉槽液温较高，如无顶部的FFU压风。大量的水汽将往上腾，水汽会再次附着于提出的产品上，安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水汽从缸面的抽气口抽走。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备保修期：
本设备在运行中，如由于设备本身质量问题，实行一年免费保修，如由于用户在使用过程中操作不到而造成的损失，我方负责保修，但收取相应的材料费，设备实行终生有偿保修。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备特点：
PLC+彩色人机界面控制，多层次密码权限，工艺参数随机可调，工作状态可视。
独特先进的龙门等工位机械手，运行稳定，定位jingque，传动无粉尘，维护无污染，升降和横移有效分离，相互工作无干涉，故障易判断及排除。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备先进的水路系统，确保水路完全循环无死水状态，防止水质变化致使二次污染，管件全KF快速接头连接，易维护保养，整机入水口配置电阻率仪及liuliang计，监控如水状态及用量。
整机内嵌式节水盘及漏液检知，防止漏水影响车间洁净状态。
后段配FFU，确保区域处于正压状态，防止二次污染
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备独特的红外线干燥方式，节能、洁净
先进的在线式纯水再生系统及在线式废水回用系统，tigao纯水利用率及液体温度损失（此为选配项目）
超声波发生器采用它激式发震方式，带扫描电路，超声波功率连续可调，信号强弱用光电显示。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备采用40KHZ、68KHZ等高频超声波频率，功率可调。
清洗部分与热风干燥部份分别独立电器控制柜。
采用环保型水溶剂洗涤、纯水漂洗、热风干燥，为环保型清洗机。
设有抛动系统、超声波系统、过滤循环系统等