无尘车间地面须采用整体性好，平整、不裂、不脆和易于清洗、耐磨、耐撞击、耐腐蚀的无孔材料，地面还应是气密的，以防潮湿和尽量减少尘埃的积累。
a.水泥砂浆地面
这类地面强度较高，耐磨，但易于起尘，可用于无洁净度要求的房间，如原料车间、动力车间、仓库等。
b.水磨石地面
这类地面整体性好，光滑、耐磨、不易起尘，易擦洗清洁，有一定的强度，耐冲击。这种地面要防止开裂和返潮，以免尘土、积聚、滋生。防止开裂可采取夯实回填土、加厚地坪、选用水泥，对大面积厂房可适当配钢筋(例如120mm厚# 200~400混凝土，内配ø12mm×200mm双向钢筋网片)等措施。防止返潮可采取加厚混凝土层和碎石层，湿度高的地区增加防水层，如一毡二油(油毛毡、沥青油)或用塑料布。有防腐要求的地面可采用聚酯砂浆整体地坪，由耐腐蚀的不饱和聚酯为黏合剂，以石英砂或重晶砂为填料混合而成，能耐酸碱，有良好的化学稳定性和耐腐性。有防静电要求的可在水磨石地面上镶嵌金属网格(如铜条)并可靠接地，但水磨石存在一个缺点，那是有一定数量的分隔铜条存在缝隙。水磨石的保养目前常用打蜡的办法，也可采用水磨石上涂一层密封剂，这种密封剂不宜涂厚，涂上后会给地面吸收进去即可，不要积聚，密封剂渗入水磨石的孔隙内后能防止起灰，并有一定的光洁度。在尚无特别理想材料的情况下，仍不失为一种好材料，常用于分装车间、针片剂车间、实验室、卫生间、较衣室、结晶工段等，它是无尘车间常用的地面材料。
c.塑料地面
这类地面光滑，略有弹性，不易起尘，易擦洗清洁，耐腐蚀。常用厚的硬质的乙烯基塑料地面和PVC塑料地面，它适用于设备荷重轻的岗位，这种饰面材有块状和卷状，采用黏接剂黏接，卷状的比块状的接缝少，接缝采用同质材焊接，也可用黏接剂黏接。缺点是易产生静电，因易老化，不能长期用紫外线灯，可用于会客室、较衣室、包装间、化验室等。由于塑料地板与混凝土基层的伸缩性能不同，故用大面积无尘车间时可能发生起壳现象。中净环球净化可提供无尘车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。
d.耐酸磁板地面
这类地面用耐酸胶泥贴砌，能耐腐蚀，但质较脆，经不起冲击，破碎后降低耐腐蚀性能。这类地面可用于原料车间中有腐蚀介质的区段，也可在可能有腐蚀介质滴漏的范围局部使用。例如：将有腐蚀介质的设备集中布置，然后将这一部分地面用挡水线围起来，挡水线内部用这类铺贴地面。
e. 玻璃钢地面
具有耐酸磁板地面的优点，且整体性较好，但由于材料的膨胀系数与混凝土基层不同，故也不宜大面积使用。
f.环氧树脂磨石子地面
它是在地面磨平后用环氧树脂(也可用丙烯酸酯、聚氯酯等)罩面，不仅具有水磨石地面的优点，而且比水磨石地面耐磨，强度高，磨损后还可及时修补，但耐磨性不高，宜用于空调机房、配电室、较衣室等。另一种是自流平面层工艺，一般为环氧树脂自流平，涂层厚约2.5~3mm，它是由环氧树脂、填料固化剂、颜料依次构成。