洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其Zui大频率风向上风侧，或全年Zui小频率风向下风侧；应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。洁净厂房Zui大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区；但不得妨碍消防操作。
工艺布置应符合下列要求：工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。应设置单独的物料人口，物料传递路线应Zui短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。生产联系少，并经常不使用的两个生产车间之间。洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。第洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜考虑净化空气调节系统的要求。