7.1 一般规定
7.1.1 洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，也可埋地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道不宜穿过。
7.1.2 管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。
7.1.3 管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有效的密封措施。
7.2 给水
7.2.1 洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，并应分别设置。管道的设计应留有余量，以适应工艺变动。
7.2.2 水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式，并应符合下列规定：
1 循环附加水量应为使用水量的30%～。
2 干管流速应为1.5m/s～3m/s。
3 不循环的支管长度应尽量短，其长度不应大于6倍管径。
4 供水干管上应设有清洗口。
5 管道系统各组成部分应密封，不得有渗气现象。
7.2.3 管材选择应符合下列规定：
1 纯水管道的管材应符合生产工艺对水质的要求，可选择不锈钢管或工程塑料管。
2 工艺设备用循环冷却给水和回水管可采用热镀锌钢管、不锈钢管或工程塑料管等。
3 管道配件应采用与管道相应的材料。
7.2.4 循环冷却水管道应预留清洗口。
7.2.5 洁净厂房周围应设置洒水设施。
7.3 排水
7.3.1 排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。
7.3.2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。
7.3.3 洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定：
1 空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。
2 6级洁净室内不宜设地漏，如必须设置时，应采用专用地漏。
3 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不宜设排水沟。
4 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。
7.3.4 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备、管道、管架及其附件。
7.3.5 洁净厂房宜设置消防排水设施。