8.1 一般规定
8.1.1 洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定：
1 洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。
2 干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。
3 易燃、**、有*物质管道应明敷。
4 当易燃、**、有*物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。
8.1.2 洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》的有关规定。
8.1.3 工业管道设计应符合下列规定：
1 应按输送介质的物化性质，合理确定管内物料流速和管径。
2 在满足生产工艺的条件下，管道系统应尽量短。
3 应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。
4 管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。
8.1.4 工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃气体管道、氧气管道的末端或Zui高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。
8.1.6 气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
8.1.7 气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
8.1.8 洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应符合下列规定：
1 当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的Zui上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔。
2 应有良好的通风。
3 泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》的有关规定执行。
8.2 管道材料和阀门
8.2.1 工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况选用，并应满足生产工艺的要求和使用特点，经技术经济比较后确定。
8.2.2 高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求，并应符合下列规定：
1 当气体纯度大于或等于99.999%，露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。
2 当气体纯度大于或等于99.99%，露点低于-60℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其他气体管道宜采用球阀。
8.2.3 当干燥压缩空气露点低于-70℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管;当露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。
8.2.4 阀门材质宜与相连接的管道材质相适应。
8.3 管道连接
8.3.1 工业管道的连接应符合下列规定：
1 管道连接应采用焊接，热镀锌钢管应采用螺纹连接。
2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接;高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。
8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。
8.3.3 管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定：
1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。
2 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。
8.3.4 洁净室(区)内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。
8.4 安全技术
8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁：
1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。
2 管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积聚处。
3 洁净室内使用可燃气体处。
8.4.2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施：
1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。
2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护设施。
3 应设导除静电的接地设施。
8.4.3 氧气管道应采取下列安全技术措施：
1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。
2 应设导除静电的接地设施。
8.4.4 工业管道应按不同介质设明显的标识。
8.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的措施。