光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
光学Zoom：1×，（0.75×，0.5×可选）
影像系统：1024×1024，（2048×2048可选）
干涉物镜：10×，（2.5×、5×、20×、50×、100×可选）
移动范围：140×110mm
控制方式：电动
Z轴行程：100mm
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可测样品反射率：0.5%-
水平调整：±5°，手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效
性能特色
1、 高精度、高重复性
1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；
2） 独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性；
2、 一体化操作的测量分析软件
1） 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3） 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4） 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5） 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、 精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、 双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。
