超高 效无隔板过滤器,英文名又叫"MIni-pleat UltraLow Penetration AirFilter",用于半导体制造工厂、原子能研究中心、无尘室、层流设备、净化工作台等要求超高洁净度的场合。
欧洲标准EN1822由CEN/TC195 “一般空气净化用空气过滤器”技术委员会起草,DIN(德国标准化委员会)担任该技术委会主席。标准涉及高效空气过滤器(HEPA,high efficiency particulate airfilter)与超高 效空气过滤器(ULPA, ultra lowpenetration air filters)的性能试验。标准包括以下五部分:
第—部分: 分级、性能试验、标识;
第二部分:气溶胶的发生、测量装置、粒子计数统计;
第三部分:单张滤纸试验;
第四部分:过滤元件渗漏的测定(扫描法第五部 分:过滤元件全效率的测定。
标准的基础是粒子计数法,该方法实际上满足了各类应用中大部分场合的需要。标准与早期各国家标准的不同之处在于确定总效率的方法。标准基于ZUI易穿透粒径(MPPS,范围:0.15/1w)的粒子计数,而不是粒子总质量。
此外,计数法可以测量超高效过滤器,过去的试验方法受灵敏度限制无法测量这种过滤器。
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