PADS等离子处理表面清洗机

PADS等离子处理表面清洗机：诚峰智造

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-4L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中频电源功率（RF Power）

1000W/40KHz/13.56MHz

容量（Volume ）

30L(Option)

层数（Electrode of plies ）

4(Option)

有效处理面积（Area）

200(L)*150(W)(Option)

气体通道（Gas）

两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2

产品特点

超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，控制设备运行；

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和技术支持。

应用范围

真空等离子清洗机适用于印制线路板行业，半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域硅胶、塑胶、聚合体的等离子表面粗化、刻蚀、活化。

工艺冷却水是工业生产中常用的控温介质，其应用十分广泛，根据使用种类主要分为无尘车间冷却、过程设备冷却、生产过程冷却等，在等离子清洗机中的应用可归结为工艺过程设备冷却。许多人也许会想，等离子清洗机难道不是低温等离子体使用的设备吗，为什么会用到过程冷却水里，又怎么能正确使用呢？我们来看看它。

一、等离子清洗机的工艺冷却水应用：

（1）冷却真空等离子清洗机的电极板：

真空等离子体清洗机产生的等离子体温度很低，在使用过程中，如果使用功率较大或处理时刻过长，就会出现电极板温度升高的情况，而等离子体清洗机一般也会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户的要求给电极板降温，以达到使对腔内温度稳定在要求范围的目的。

（2）等离子发生器的冷却：

等离子体清洗机的等离子体发生器是该设备的核心部件，一般小型等离子体清洗机使用功率较小，等离子体发生器自身产生的热量较小，一般会选择风冷除温的方法。而大型等离子清洗机都是会使用输出功率较大的等离子发生器，工作时自身产生的热量也很大，为了保证设备使用的稳定性，延长使用寿命，采用工艺冷却水除温的方法来冷却。

（3）真空泵冷却：

真空泵在使用过程中无润滑油冷却，机械结构之间又产生了很高的摩擦温度，如真空泵在没有冷却的情况下工作时，会出现转子或螺杆抱死的情况，造成报废。真空泵在使用中需要实时冷却，所采用的方法就是采用过程工艺冷却水冷却。

局部干泵在设计时为了保证降低电机噪音，更好地做好电机保护，一般还会选择水冷式电机，也需要工艺冷却水进行实时降温。

二、等离子清洗机的工艺冷却水应用：

(1)等离子清洗机工艺冷却水：

等离子清洗机所使用的工艺冷却水主要有两种来源，冷却水的供给和用户端的循环供水。对于大型等离子清洗机，要求配置独立的冷却水机组，以保护设备。

（2）工艺冷却水的一般要求：

根据实际需要调整等离子清洗机的冷却水温度一般控制在20~50℃，压力一般在0.3~0.5MPa，流量一般在2~7SLM之间。根据实际应用需要，需要确定操作参数的取值范围。

（3）工艺冷却水的实时监测与控制：

所有需要冷却的都是等离子清洗机关键部件，如出现温度过高或压力不足将形成产品报废和设备部件损坏的情况，实时监测非常重要，一旦超过要求规模就必须立即报警停止生产。

一般情况下，等离子清洗机的冷却水压力和流量监测由水流开关完成，水流开关分为机械式和数量式，需要串联应用于进水管，当压力或流量太小时，输出信号，完成设备的报警功能。等离子清洗机一般是在每个温度控制部件的入口安装独立的水流量开关，以确保其稳定可靠。

通过在各部件上安装温度传感器，冷水机信号输出，各部件自带温度传感器信号输出，选择出具体的实现方法，从而实现温度报警。实际应用中为了保证等离子清洗机运行的稳定性，一般会选择多种方法使用。