SEMI标准简介：
SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的全球执行联盟，SEMI之下的安全工作小組为了降低机械危害的风险，制定了一套适用于半导及显示器材料和制造设备的全球性标准和法规，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备,成为半导体业界对设备系統的必备的规格要求。
SEMI S2半导体认证简介:
SEMI S2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和全球半导体制造设备的安全准则。
SEMI S2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来，SEMIS2涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。
SEMI S2认证和遵守法规的途径：
对于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半导体制造设备的环境，健康和安全指南》。
实际上，其他产品安全准则可以视为支持S2。面向职业健康和安全的指南通常与制造商无关。
SEMIS2认证指南是由SEMI行业的制定的，以确保每台设备都符合法规要求，并经过严格的安全标准检查。主题包括消防，电气危险防护，减轻机械危险，化学，辐射，噪声和人体工程学危险，通风要求，紧急停机程序，排气规格，危险警告警报和标签，文件要求等。
S2评估通常是买方作为保障的要求，并且可以作为出售的条件。
SEMI S2认证评估:
在电气/机械安全，化学暴露评估，通风，噪声，电离辐射，非电离辐射，激光，环境影响评估以及SEMIS2认证指南要求的其他专业领域通常SEMIS2评估将需要以下评估以支持核心S2评估：
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离辐射
非电离辐射和场
雷射
声压级
相关文件
SEMI常见安全标准：
SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。
SEMI S1 装置安全标签 Safety Guideline for Visual Hazard Alerts
SEMI S2 半导体生产装置的环境、健康、安全Safety Guidelines for SemiconductorManufacturing Equipment
SEMI S3 热化学槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths
SEMI S4 橱柜收纳高压气筒的隔离／分离Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
SEMI S5 流量限制设备Safety Guideline for Flow Limiting Devices
SEMI S6 换气Safety Guideline for Ventilation
SEMI S7 半导体生产装置的环境、健康、及安全性（ESH）评价Safety Guidelines forEnvironmental,Safety and Health Evaluation of
Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 半导体生产装置的人机工程学Safety Guidelines for Ergonomics/HumanFactors Engineering of Semiconductor Manufacturing
Equipment
SEMI S9 半导体生产装置的电气设计验证试验Electrical Test Methods forSemiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 风险核查Safety Guideline for Risk Assessment
SEMI S11 半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康Environmental, Safety, and HealthGuidelines for Semiconductor Manufacturing
Equipment Minienvironments
SEMI S12 装置的去污Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 半导体生产装置的操作及维护手册Safety Guidelines for Operation andMaintenance Manuals Used with Semiconductor
Manufacturing Equipment
SEMI S14 对半导体生产装置的火灾风险评估和降低Safety Guidelines for Fire RiskAssessment and Mitigation for Semiconductor
SEMI S15 有毒及易燃气体的检测系统评价Safety Guidelines for the Evaluation ofToxic and Flammable Gas Detection Systems
SEMI F47 电压瞬变能力规范 Voltage Sag Standard
