精密芯片用氮气烤箱

2023-11-04 00:00 120.229.24.7 1次
发布企业
深圳市通利达自动化设备有限公司商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
19
主体名称:
深圳市通利达自动化设备有限公司
组织机构代码:
914403003498176543
报价
人民币¥30000.00元每台
关键词
芯片用氮气烤箱
所在地
深圳市龙华区大浪街道同胜社区三合华侨新村11号7层A7
联系电话
0755-27524017
手机
15817282530
经理
李生  请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍

芯片用氮气烤箱是一种新型工业级干燥设备,采用长轴耐高温大功率轴流风机,不锈钢涡轮扇叶,结合独特设计风道,智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热,形成温度均匀的高温热风,对箱体内部进行加热,确保烘箱内部达到理想的温度环境。

芯片用氮气烤箱用途

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

详细参数;

芯片用氮气烤箱箱体结构

内部材质:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板,满焊处理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE。

外部材质:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,耐刮伤,造型美观。

保温材质:采用100K保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-120mm,保温性能好。

芯片用氮气烤箱箱门结构:箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。

载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。

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温度控制系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,定值/程序(程控100段)两种控制模式,带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确

保产品运行安全。

芯片用氮气烤箱控温方式

讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。

输出被控组件:SSR固态无节点输出,确保加热功率。

箱内热风循环系统

芯片用氮气烤箱送风方式:箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风。

风道结构:风道两侧采用高密度冲孔风板,控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。

送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳,噪声≤65dB。

芯片用氮气烤箱送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套,高绝缘导热改性氧化镁浇筑,无名火,安全不漏电)

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芯片用氮气烤箱氧含量控制系统

氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供100L/min +200L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双流量自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。

排氧时间≤30min,带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,配备氧含量超标报警功能。

芯片用氮气烤箱整机安全保护系统

采用三重超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能(详见技术参数)。

箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):

超温防止器(独立限温,超温断电);

相序保护(欠压欠相保护);

马达过电流保护;

控制线路保险丝;

芯片用氮气烤箱电热过电流保护;

无熔丝开关。

选配组件:

程序多段控温:可配置程序型温度控制器,大实现100段程序控温。

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测试孔:可在侧面加装Φ50mm测试孔。

无纸多点温度记录仪:可配置无纸多点温度记录仪(4/6/9/12通道),可实时监控记录温度变化.

快速降温功能:风冷+水冷。

可加装MES系统。

芯片用氮气烤箱箱体结构尺寸

内尺寸:800(宽)×600(深)×1000(高)mm;(可定制)

外尺寸约:1400(宽)×820(深)×1800(高)mm含脚轮,以实物为标准;

控制在板:控制器位于机台上方(如图);

芯片用氮气烤箱开门方式:单箱单门对开;

可窗口:门上无可窗口;

内材质为:304#不锈钢,砂面板,厚1.2mm;

外材质为:冷轧钢板,厚1.2mm,粉体烤漆处理;

芯片用氮气烤箱隔层:内箱分为四层,底起80mm一层,以上平分,配网板四块;

保温材质为:耐高温玻璃纤维岩棉,保温效果好;

门口密封材质为:耐高温硅胶条;

底部安装活动脚轮及四个固定脚杯,可任意推动,固定位置.

芯片用氮气烤箱温控系统

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温度控制器为7寸触摸屏+PLC控制(威硕),定值或程序运行控制温度可选择使用,可自动演算,PV/SV显示,点触设定(如图)

定时功能:内置定时功能,温到计时,时间到停止加热,报警提示;

数据端口:USB端口下载历史数据,数据模式为Excel文文件模式,计算机连接端口RS232接口;

芯片用氮气烤箱曲线:触摸屏表上可查看运行时的温度曲线;

温传感器:PT100高温型;

控制输出信号:为3-32V;

加热控制为:固态继电器SSR无接点;

加热组件为:耐高温加热管;温度范围:RT+25~200℃温度可调;

芯片用氮气烤箱升温速率:200℃约35分钟;

控制精度:±0.5℃(恒定状态);

12、显示精度:0.1℃;                                    

温度偏差:±3.0℃(空载恒定状态)

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所属分类:中国电工电气网 / 工业烤箱
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成立日期2015年07月31日
法定代表人李金友
注册资本100
主营产品超声波清洗机、工业纯水机、工业冷水机、电镀设备、超声波塑焊机的销售;国内商业、物资供销业;货物及技术进出口。(以上均不含法律、行政法规、国务院决定禁止及规定需前置审批项目)^;
经营范围精密超声波清洗设备、高压喷淋清洗设备、纯水设备、冷水机组研发设计、制造
公司简介深圳市通利达自动化设备有限公司是一家从事精密超声波清洗设备、高压喷淋清洗设备、纯水设备、冷水机组研发设计、制造及经营服务于一体的设备企业。凭着丰富的行业经验和不断进取的信念,本着“以人为本、技术创新、诚信服务”的经营理念,使研发及制造技术处于清洗行业的前沿。公司正以技术为先导,以科学务实的管理基础,把“通利达”建设成为充满朝气和活力的高科技企业。生产各种类型的超声波清洗机、喷淋清洗机,同时设计开发 ...
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