自动碲化铋晶粒离心清洗机

全自动碲化铋晶粒离心清洗机采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；旋转式喷杆，避免二次污染产品；配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到*佳效果；配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准。

全自动碲化铋晶粒离心清洗机特点：

可调变速离心式

全自动製程人机界面控制

透明防爆门，作业安全确保

镜面不锈钢体封闭结构

全自动碲化铋晶粒离心清洗机全系统仪表监测，符合ISO作业

超大型Wash-Tank增加效率

前置式作业，无二次污染

平方公尺设备空间，调配方便

全自动碲化铋晶粒离心清洗机低噪音，无污染-无尘室专用设计

纯水自动加压过滤

可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；

操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；

全自动碲化铋晶粒离心清洗机运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；

采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；

摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；

清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；

全自动碲化铋晶粒离心清洗机高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；

配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到佳效果，可选择使用氮气；

配有大面积透明观察窗；

缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；

全自动碲化铋晶粒离心清洗机整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。

产品表面粉尘，杂质专用清洗机器；

镜面锈钢一体化封闭机身，对工作环境无污染，适合无尘车间使用要求；

可更换清洗盘清洗多种产品，清洗盘按产品定做；

PLC自动控制，操作方便快捷；

全自动碲化铋晶粒离心清洗机透明防爆前门，安全作业，便于观察；

全系统仪表显示，随时监控清洗状况；

采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；

旋转式喷杆，避免二次污染产品；

配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到佳效果；

全自动碲化铋晶粒离心清洗机配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准；

机身紧凑，占用面积小；

完全使用超纯水清洗，符合RoHS标准。

全自动晶圆离心清洗机参数：大工作盘：Φ 600mm
大工件：200mm(L)×140mm(W)

清洗方式：高压冲洗+水气二流体清洗

干燥方式：高速离心脱水(离子风)

工作盘旋转数范围：0--2840 r/min

离心清洗释出压力：1.5—13.8kg

纯水过滤精度：0.1μm

空气过滤精度：0.01μm

可清洗Particle颗料小直径：≧1um98%以上

材料：整机316镜面不锈钢

清洗水供给压力：>2.0Kgf

清洗水流量设定范围：＜10.8L/min

DI供给洁净度要求：>17MΩ

洁净压缩空气供给压力：0.45—0.7mpa

洁净压缩空气洁净度要求：过滤度在0.01μm /99.5%以上超洁净压缩空气,残余油＜0.1ppm

洁净压缩空气大消耗量：高压冲洗时:N/A二流体清洗时:＜100L/min

送风管排气容量：5.0m3/min

控制方式：PLC+触摸屏

重量：480kg

电源：380V 10A 50HZ

设备尺寸：870mm(L)X1000mm(W)X1750mm(H)