半导体无尘车间的净化装修设计是创造一个高洁净度、低污染的生产环境，以确保半导体产品的质量和稳定性。
一、设计原则与目标
高洁净度：确保车间内的空气洁净度达到生产工艺要求，尘埃粒数控制在规定范围内。
低污染：减少车间内尘埃、微生物等污染物的产生和积累。
稳定性：保持车间内温湿度、气流等环境参数的稳定，以满足半导体生产的需求。
二、平面布局与功能分区
合理分区：根据生产工艺需求，将车间划分为不同洁净等级的区域，如生产区、物料区、缓冲区等，以减少交叉污染的风险。
流线型布局：合理规划设备和工作站的位置，确保生产流程的顺畅和高效。考虑操作人员的人流和设备之间的距离，小化污染的可能性。
三、洁净系统配置
空气净化系统：配置初效、中效和高效空气过滤器（如HEPA过滤器），以持续去除空气中的尘埃和微生物。确保空气洁净度等级达到设计要求。
气流组织：设计合理的气流组织方案，避免死角和短路现象。送风口和回风口的位置应合理设置，确保室内气流均匀、稳定。
压差控制：通过正压或负压控制，防止外部污染物进入洁净区，确保洁净区内部不同区域之间的气流方向正确。
四、材料与装修
墙面与天花板：选用平整、无缝、易清洁的材料，如彩钢板、不锈钢板等。墙面和天花板的平整度应满足要求，避免尘埃积聚。
地面：采用防滑、防静电、耐磨损的材料，如环氧自流平地坪或PVC地板。地面应保持平整无缝隙，便于清洁和消毒。
门窗：选用气密性好的门窗材料，如中空玻璃窗或铝合金窗等。门窗的开启方式应合理，保证空气流动的均匀性。门窗还应设置相应的防虫、防尘措施。
五、温湿度与照明控制
温湿度控制：安装温湿度传感器和自控系统，实现温度和湿度的准确控制。确保车间内的温湿度保持在生产工艺要求的范围内。
照明设计：选择适合车间需求的照明设备和灯具，确保照明均匀、稳定、无闪烁。照明系统应具有防静电功能，避免静电对半导体生产的影响。照明设计还应考虑节能环保的要求。
六、安全防护与配套设施
安全防护：设置完善的安全防护设施，包括防静电地板、接地系统、防火系统等。这些设施能够有效降低生产过程中的安全隐患，保障工作人员的人身安全。
配套设施：安装通风系统、空调系统、消防系统等配套设施。这些设施的安装位置应合理，不影响车间的正常生产和操作。设施的维护保养也需定期进行，确保其正常运行。