《洁净机器人 SEMI S2 认证前整改全流程洁净控制方案》

EMC测试核心项目

EMC测试分为 电磁干扰（EMI） 和 电磁抗扰度（EMS） 两大类：

（一）EMI发射测试（防设备干扰环境）

（二）EMS抗扰度测试（防环境干扰设备）

注：A级标准要求测试中设备功能无降级 。

检测标准体系

（一）guojibiaozhun

• 通用标准：CISPR 14-1（EMI）、CISPR 14-2（EMS）、IEC 61000-3-2（谐波）。

• 欧美准入：FCC Part 15B（美国）、ICES-003（加拿大）。

（二）中国标准

• 强制要求：GB 4343.1（EMI）、GB 17625.1（谐波）。

• 机器人专项：GB/T 17626系列（静电/射频/工频磁场抗扰度）。

典型EMC故障与整改案例

（一）常见故障根源

1. 电机驱动干扰：PWM调速产生高频噪声，通过长电源线辐射（案例：2米线缆致RE超标）。

2. 电源电路缺陷：BUCK电路滤波不足（电容参数错误）、共模电感Layout覆铜导致失效 。

3. 时钟信号辐射：Flash/摄像头时钟谐波超标（200-500MHz频段）。

（二）整改技术方案

（三）系统性设计优化

1. 屏蔽：

• 金属外壳接大地（防ESD）；变压器加铜箔屏蔽层（抑低频辐射）。

2. 滤波：

• 电源入口加π型滤波器（锰锌共模电感+XY电容）；

• 信号线使用铁氧体磁珠（>100MHz高频抑制）。

3. 接地：

• 数字/模拟地分割，单点连接 ；

• 屏蔽线缆两端接地（降天线效应）。

整改流程建议

1. 预评估：

• 使用频谱仪定位干扰源（如电机/时钟模块）。

2. 分层整改：

• 优先电路级修正（滤波/接地），结构优化（屏蔽/布线）。

3. 验证测试：

• 在ISO 17025认证实验室复测（如电波暗室）。

4. 持续监控：

• 量产阶段定期抽检，避免物料变更引入新干扰 。

特别注意事项

1. 洁净机器人需平衡洁净度与EMC性能：

• 避免使用挥发性密封材料（影响洁净度）；

• 屏蔽罩选用不锈钢材质（防氧化颗粒脱落）。

2. 真空环境机器人需特殊设计：

• 无油润滑系统减少放气污染 ；

• 真空兼容EMC组件（如陶瓷电容）。

引用说明：所有方案均基于泳池机器人、扫地机器人等同类产品的成熟整改案例 [[31]-[40]]，并适配洁净场景的特殊需求。